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當(dāng)前位置：首頁產(chǎn)品中心光譜系統(tǒng)顯微缺陷膜厚OPTM 系列顯微分光膜厚儀

顯微分光膜厚儀

產(chǎn)品簡介

OPTM 系列顯微分光膜厚儀
測量項(xiàng)目：

? 絕.對反射率測量

? 多層膜解析

? 光學(xué)常數(shù)分析（n：折射率，k：消光系數(shù)）

產(chǎn)品型號：OPTM 系列
更新時(shí)間：2026-01-23
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
訪問量：9895
詳細(xì)介紹在線留言
　　OPTM 系列顯微分光膜厚儀
 
　　•  使用顯微光譜法在微小區(qū)域內(nèi)通過絕.對反射率進(jìn)行測量，可進(jìn)行高精度膜厚度/光學(xué)常數(shù)分析。
 
　　•  可通過非破壞性和非接觸方式測量涂膜的厚度，例如各種膜、晶片、光學(xué)材料和多層膜。 測量時(shí)間上，能達(dá)到1秒/點(diǎn)的高速測量，并且搭載了 即使是初次使用的用戶，也可容易出分析光學(xué)常數(shù)的軟件。
 
　　•  頭部集成了薄膜厚度測量所需功能
 
　　•  通過顯微光譜法測量高精度絕.對反射率(多層膜厚度，光學(xué)常數(shù))
 
　　•  1點(diǎn)1秒高速測量
 
　　•  顯微分光下廣范圍的光學(xué)系統(tǒng)(紫外至近紅外)
 
　　•  區(qū)域傳感器的安全機(jī)制
 
　　•  易于分析向?qū)В鯇W(xué)者也能夠進(jìn)行光學(xué)常數(shù)分析
 
　　•  獨(dú)立測量頭對應(yīng)各種inline客制化需求
 
　　•  支持各種自定義
 
　　測量項(xiàng)目：
 
　　•  絕.對反射率測量
 
　　•  多層膜解析
 
　　•  光學(xué)常數(shù)分析(n：折射率，k：消光系數(shù))

OPTM 系列顯微分光膜厚儀

 

型號 OPTM-A1 OPTM-A2 OPTM-A3
波長范圍 230 ~ 800 nm 360 ~ 1100 nm 900 ~ 1600 nm
膜厚范圍 1nm ~ 35μm 7nm ~ 49μm 16nm ~ 92μm
測定時(shí)間 1秒 / 1點(diǎn)
光斑大小 10μm (小約5μm)
感光元件 CCD InGaAs
光源規(guī)格 氘燈+鹵素?zé)?/span> 鹵素?zé)?/span>
電源規(guī)格 AC100V±10V 750VA（自動(dòng)樣品臺規(guī)格）
尺寸 555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自動(dòng)樣品臺規(guī)格之主體 部分)
重量  
約 55kg（自動(dòng)樣品臺規(guī)格之主體部分）
 
 

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